設備リスト

利用可能研究設備詳細

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事務作業番号 1118
装置名 FE-SEM/EDS-WDS
総利用時間 / 総利用料金 0 時間 / 0 円
機種 メーカー 日本電子
型式 JSM-7100F
性能/装置の原理・方式
主に固体試料の表面形状・断面観察および元素組成分析が可能である。表面形状の観察に関して、最小寸法10nm程度の分解能を持っている。

試料に電子線を照射し、発生する二次電子をマッピング計測することにより、表面形状および断面観察を行う。また、同時に二次電子に対する波長・エネルギ計測を行うことにより試料の組成分析を行う。
設置場所 (角間)VBL AMSL棟2FCR1
問い合わせ先
利用単価 1,000 円 /  時間
利用料金の支払方法 予算振替
利用者が準備するもの
   (消耗品等)
特になし
装置外観 FE-SEM/EDS-WDS
共同利用の範囲 学内と学外
利用可能時間 09:00 - 19:00
取扱い説明会
要望があれば随時行う
利用資格 取扱い説明会の受講者は自由に使用可能
オペレーター・トラブル対応者 オペレーター:有
トラブル対応者:有
依頼分析・共同研究 依頼分析  :  否
共同研究  :  可
この装置を利用して得たデータ等を公表した報文
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